短波紅外窄帶濾光片是窄帶濾光片的一種類別,我們都知道窄帶濾光片的主要作用是對光進行光譜選擇,使需要的光通過,不需要的波長光截止,它作為濾光和選擇譜線的主要器件,有著廣泛的應用。光學元件設計技術領域,涉及一種可滿足80K低溫環境使用的1240nm短波紅外窄帶濾光片短波紅外窄帶濾光片在光學分析儀器、光學探測器方面都有廣闊的應用前景,主要用于對地成像觀測和光譜分析監測,我國高分辨率對地觀測系統重大專項,也對短波窄帶濾光片提出了研發需求。
大視場紅外多光譜掃描儀用短波紅外窄帶濾光片,要求通帶平均透過率高、抑制帶截止深度深、通帶波紋系數小、截止范圍寬,可適用于80K低溫和地面環境條件,具有高可靠性和高穩定性。
由于短波紅外窄帶濾光片是封裝在探測器前使用,工作環境特殊,其需滿足從低溫極限值80K到高溫極限值80℃的瞬間溫度沖擊,采用常規方法制備濾光片,會出現低溫下濾光片中心波長漂移和膜層脫落的現象,低溫短波紅外窄帶濾光片一直是光學薄膜研究的重點。
1240nm短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其包括以下步驟:
第一步:真空室清潔;
第二步:鍍膜前基片清洗;
第三步:真空室準備在真空室電子槍坩堝內預置鍍膜材料;
第四步:濾光片膜層鍍制
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